Влияние поверхности на работу полупроводниковых приборов

Даже для моноатомных полупроводников поверхность является удобным «стоком» для примесей и дефектов. Они скапливаются на ней, диффундируя как из полупроводника, так и из слоя диэлектрика. Например, уровень легирования полупроводника на поверхности, как правило, отличается от уровня легирования объема, Современные методы физического анализа позволяют изучать эти процессы и в определенной степени управлять ими.