Лазер eX5 ФИРМЫ gam lasers, inc (сша)
EX5 - компактный эксимерный лазер с воздушным охлаждением, коронной предионизацией. Блоки лазерного излучателя и накачки объединены в одном корпусе, что способствует снижению габаритов системы.
Рисунок.
Существует две версии этого лазера: EX5 и EX5 Type II. Их основные параметры приведены в таблицах 3 и 3.
Таблица 3 (EX5)
|
Активная среда |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
Длина волны |
157 нм |
193 нм |
248 нм |
308 нм |
351 нм |
|
Максимальная энергия импульса |
2 мДж |
12 мДж |
20 мДж |
8 мДж |
6 мДж |
|
Пиковая мощность |
280 кВт |
1200 кВт |
2000 кВт |
800 кВт |
600 кВт |
|
Средняя мощность (250 Гц) |
0,4 Вт |
2,4 Вт |
4 Вт |
1,4 Вт |
1,3 Вт |
|
Средняя мощность (500 Гц) |
0,65 Вт |
4 Вт |
8 Вт |
2,5 Вт |
2,4 Вт |
|
Максимальная частота повторений |
250/500 Гц | ||||
|
Стабильность энергии |
σ < 3% | ||||
|
Размер пучка |
6×3 мм2 | ||||
|
Расходимость |
0,5×1 мрад2 | ||||
|
Длительность импульса |
10 нс | ||||
|
Охлаждение |
Воздушное охлаждение | ||||
|
Эксплуатационный срок кюветы |
2 млрд. импульсов | ||||
Таблица 3 (EX5 Type II)
|
Активная среда |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF | |||
|
Длина волны |
193 нм |
248 нм |
308 нм |
351 нм | |||
|
Максимальная энергия импульса |
5 мДж |
8 мДж |
4 мДж |
2 мДж | |||
|
Средняя мощность |
3 Вт |
5 Вт |
3 Вт |
1 Вт | |||
|
Максимальная частота повторений |
1000 Гц | ||||||
|
Стабильность энергии |
σ < 2% | ||||||
|
Размер пучка |
6×3 мм2 | ||||||
|
Расходимость |
0,7×1,4 мрад2 | ||||||
|
Длительность импульса |
9 нс | ||||||
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное охлаждение | ||||||
|
Эксплуатационный срок оптики |
500 млн. импульсов |
1 млрд. импульсов |
150 млн. импульсов |
150 млн. импульсов | |||